원오크록,27일내한공연개최(제공:라이브네이션코리아)일본의인기밴드원오크록이3년만에단독콘서트를개최한다.공연기획사라이브네이션코리아는원오크록이오는27∼28일서울잠실실내체육관에서단독콘서트를개최한다고19일밝혔다.원오크록은2007년데뷔한이래얼터너티브록,포스트하드코어를결합한독창적음악으로인기를끄는밴드다.보컬다카를비롯해기타리스트도루,베이시스트료타,드러머도모야등4인조로활동하고있다.이들은2012년첫아시아투어를개최한뒤글로벌레이블과계약을맺으며해외시장에진출했고,2016년에는MTV유럽뮤직어워즈(EMA)'베스트재팬아티스트'를수상하는등글로벌밴드로자리매김했다.지난해발매한정규11집‘디톡스’(DETOX)는강렬한사운드와장르의경계를허무는음악적실험으로호평받았으며,앨범발매이후진행된북미투어와유럽투어는큰호응을얻었다.원오크록은2011년페스티벌무대로처음한국을찾았으며이후열린단독공연은모두매진됐다.이번공연은지난2023년이후약3년만에열린다.이현승기자bnt뉴스연예팀기사제보[email protected]©bnt뉴스.무단전재,재배포및AI데이터활용금지

'골때리는그녀들'에서FC국내패밀리멤버로활약중인축구선수황희찬의친누나이자소속사대표황희정이갑질의혹을해명했다.iMBC연예뉴스사진황희정은19일자신의SNS(사회관계망서비스)를통해"이번논란은계약종료에앙심을품은상대업체가시도한악의적음해의결과다.가족의전서비스는계약서에명시된공식업무범위다.그외부당한요구등'갑질'은단연코없었다"고밝혔다.이날황희정은상대업체와맺은계약서일부,대화내역일부를공개하며"직계가족의전은계약서명시조항이다.이에따라상대업체의편취주장은거짓이다.상대업체는당사의사양에도의전을강행했고,이에당사는식사와숙박을제공했다.텐트설치및철거,불피우기와장보기는가족이직접수행했다.장보기지시갑질주장도거짓"이라설명했다.이어황희정은"'슈퍼카요구'사실도없다"라고강조하며"운행중발생한사고는거듭된사과와함께계약에따라정당하게보험처리를완료했다.상대업체는'피해사고'까지합산하는등사고규모를실제보다부풀렸으나,이유를막론하고사고발생에대해깊이반성하며향후안전운행에주의를기울이겠다.또한계약상홍보의무를다하기위해상대업체와긴밀히소통해왔다.소통을외면하거나약속된이행을회피한사실은전혀없다"라고덧붙였다.앞서상대업체는한매체를통해황희찬이의전서비스계약을맺은뒤차량을제공받는과정에서고가의슈퍼카를요구했고,수차례사고를냈지만고장차량을도로에방치하는등갑질로볼만한행동을이어갔다주장한바있다.이와관련황희정은"매체를상대로정정보도요청공문을발송했다"라고전했으며,상대업체에대해선이날'허위사실에의한명예훼손및사기혐의등'으로고소장접수를완료했다밝혔다.iMBC연예김종은|사진출처황희정SNSCopyright©MBC연예.무단전재및재배포,AI학습금지.

[TV리포트=강지호기자]그룹크레용팝출신초아(본명허민진)가자궁경부암극복후쌍둥이출산을앞두고있는가운데고위험산모병실입원소식을전했다.초아는19일자신의계정에"드디어고위험산모병실에자리가나서옮겼다.여긴보호자도올수있고샤워도할수있다.넓고깨끗하고살것같다"며"슬기로운4박5일입원생활.하루하루파이팅"이라는글과함께사진을업로드했다.공개된사진속에는전보다편안해보이는모습으로카메라를응시하고있는초아의모습이담겼다.특히초아는"4일만에머리감았다"는글을함께적어병원생활의고됨을전했다.앞서설연휴였던15일초아는자신의계정을통해"수축과갑작스러운출혈로입원했다"고밝혀걱정을안겼다.이어그는"다행히아가들은건강하게잘있고수축,출혈도모두잡혔는데고위험산모라내일아침까지경과를지켜본뒤퇴원여부가결정된다고한다"며출산전까지주의가필요한상태임을전했다.당시초아는남편의손편지도공개했다.사랑이가득담긴편지내용을전한초아는"아까너무놀라서긴장상태로(남편에게)난리친것같은데처음부터끝까지침착하게대처해준남편"이라며편지를읽고오열했음을고백했다.지난2021년6세연상의사업가와결혼한초아는이듬해자궁경부암진단을받았다.이후2023년암절제및가임력보존수술을진행한그는지난해9월시험관시술을통해쌍둥이를임신했다는소식을전하며많은축하를받았다.강지호기자[email protected]/사진=초아Copyright©TV리포트.무단전재및재배포금지

[TV리포트=민세윤기자]가수조갑경이과거막내딸을임신했을당시자궁경부암진단을받았음에도불구하고아이를지켜냈던눈물겨운모성애와현재의건강위기를공개했다.18일방송된TV조선'퍼펙트라이프'에서조갑경은첫째딸홍석희와건강검진을받으러나섰다.조갑경은검사대기중"막내를임신했을때산부인과에서자궁경부암일것같다는말을들었다"며"아이를낳을건지수술을할건지남편과상의해오라고했지만,결국출산후몇년이지나서야수술을받았다"고고백해모두를놀라게했다.과거의아찔했던고비를넘겼지만환갑에접어든현재조갑경의건강에는또다른빨간불이켜졌다.그는"손가락마디가너무붓고꺾였다.알레르기때문에가렵고붓는다"며관절염증상을호소해염증관리의시급성을진단받았다.건강문제와더불어남편홍서범과의위태로운부부관계도다시금주목받고있다.두사람은지난해3월방송을통해"행복하게30년을살지않았다"며각방생활과홍서범의과도한모임비용지출로인한갈등을가감없이드러냈다.특히홍서범은"나니까참은거지웬만하면벌써이혼했다"는거침없는발언으로황혼이혼위기설에무게를더하기도했다.1994년9살연상의홍서범과결혼해슬하에1남2녀를둔조갑경은현재성인이된두딸과함께살며'과보호캥거루'엄마로서의일상을이어가고있다.시청자들은"아이를위해암수술까지미뤘던엄마의마음이느껴진다","이제는본인건강을먼저챙기셨으면좋겠다"며응원을보내고있다.민세윤기자[email protected]/사진=조아패밀리스튜디오,TV조선'퍼펙트라이프'Copyright©TV리포트.무단전재및재배포금지

후지필름코리아는Z시리즈최초의렌즈교환식프로젝터‘FP-ZUH12000’을공개했다고19일밝혔다.이제품은기존FP-ZUH6000모델대비2배수준인최대1만2000루멘(FP-ZL125렌즈사용기준)밝기의성능을갖췄다.회사는최신0.8인치HEPDMDDLP칩을탑재한이미지프로세싱유닛으로밝고선명한4K화면을구현했다고설명했다.무게는약18.1㎏이며가로535㎜,세로396㎜,높이189㎜의콤팩트한경량본체디자인으로설치·이동이용이하다.이제품은사용환경에맞춰렌즈선택및교체를할수있다.후지필름은이제품에호환되는‘초단초점렌즈FP-ZL034’,‘단초점렌즈FP-ZL050’,‘표준렌즈FP-ZL125’3종을함께발표했다.FP-ZL034는업계유일의접이식회전메커니즘이활용되어동급에서가장넓은렌즈시프트범위(수직60%,수평30%)를제공한다.이를통해프로젝터본체또는렌즈방향을변경하지않아도벽,스크린,천장,바닥등원하는위치에영상과이미지를투사할수있다.FP-ZL050는짧은거리에서도대형화면투사가가능해설치공간이제한된장소에서효과적이다.FP-ZL125는표준투사거리를지원해장소의후면에설치하거나넓은홀이나강당에서대형스크린으로영사하기에적합하다.회사는최근박물관이나이벤트장소를포함해대규모쇼룸및상업시설등조명이밝은곳에서도고해상도영상투사에대한수요가증가하고있어FP-ZUH12000의활용범위가점차확대될것으로기대했다.해당프로젝터와렌즈는올여름정식출시예정이다.후지필름Z시리즈최초렌즈교환식프로젝터‘FP-ZUH12000’.후지필름코리아제공장우진기자[email protected]©디지털타임스.무단전재및재배포금지.

사진=넷플릭스[뉴스엔이하나기자]넷플릭스‘브리저튼4’에출연하는한국계배우하예린이인종차별을당했다는의혹이제기됐다.넷플릭스스페인측은지난2월18일(한국시간)공식소셜미디어에‘브리저튼4’주연인루크톰슨,하예린,한나도드가작품홍보차스페인에방문했을당시촬영한사진을공개했다.해당사진을본일부누리꾼들은하예린을인종차별했다는반응을보였다.사진에는남자주인공인루크톰슨과극중주인공의여동생인프란체스카브리저튼역의조연한나도드가더돋보이는구도로배치됐다.팬행사에서도의혹은이어졌다.주인공인하예린을가장끝자리에배치하고,조연인해나도드를사회자바로옆자리에앉히는등,마치루크톰슨과한나도드가남녀주인공인것처럼느껴진다는지적이나왔다.뿐만아니라하예린이맨끝자리로밀려나면서영상썸네일에는한나도드와루크톰슨만영상에노출됐으며,스페인매체ABC는하예린의이름을‘YerinHa’가아닌‘YernHa’로오기입했다.한국계호주인하예린은시드니출생으로15세때한국으로유학,계원예술고등학교에서연기공부를시작했다.이후다시호주로돌아가시드니국립극예술원(NIDA)에서학사과정을마쳤고배우로활동했다.미국SF드라마'헤일로'시즌1(2022)·시즌2(2024),'듄:프로퍼시'(2024)등에출연하며글로벌시청자들에게얼굴을알렸다.특히최근공개된넷플릭스시리즈‘브리저튼’시즌4에서아시아배우최초로해당시리즈여주인공으로출연해주목을받고있다.배우손숙의외손녀로도잘아려져있다.뉴스엔이하나bliss21@기사제보및보도자료[email protected]ⓒ뉴스엔.무단전재&재배포금지Copyright©뉴스엔.무단전재및재배포금지.

배우하정우.사진ㅣ스타투데이DB배우하정우가소유한건물4개중2개를매물로내놨다.19일한경닷컴에따르면하정우는서울종로구관철동건물과송파구방이동건물매각을진행중이다.보도에따르면매물로나온관철동빌딩은하정우가2018년12월81억원에매입한것으로,대지78.7㎡연면적467.2㎡지상7층건물이다.현재네일숍등이임대하고있으며매각논의중인가격은95억원이다.2019년1월하정우가127억원에매입한방이동빌딩은170억원에매물이올라와있다.현재스타벅스가통으로임대해사용중으로,임대차계약기간은2031년까지다.하정우는앞서매물로내놓은2개건물에강원도속초금호동건물,서울서대문구대현동상가까지총4개의건물을보유하고있다.한편하정우는tvN새토일드라마‘대한민국에서건물주되는법’출연을앞두고있다.이작품은빚에허덕이는생계형건물주가목숨보다소중한가족과건물을지키기위해가짜납치극에가담하며벌어지는서스펜스로,하정우는생계형건물주기수종역을연기한다.[이다겸스타투데이기자]Copyright©스타투데이.무단전재,재배포및AI학습이용금지

[스타뉴스|윤성열기자]/사진=초록뱀엔터테인먼트SNS넷플릭스연애예능'솔로지옥5'로얼굴을알린최미나수가연예활동을본격화할전망이다.초록뱀엔터테인먼트는지난18일공식SNS를통해최미나수의화보촬영비하인드사진과영상을공개했다.공개된게시물에는프로페셔널한태도로다양한포즈를선보이며다채로운매력을발산하는최미나수의모습이담겨있다.초록뱀엔터테인먼트에는배우이상이,유인나,한지현,최규리,가수이선희등이소속돼있다.최미나수역시같은소속사소속이지만,그동안'솔로지옥5'출연계약상소속사를밝히지못했다.지난10일최종회공개로프로그램이마무리되면서,향후그의본격적인활동에관심이쏠리고있다.'솔로지옥'은커플이되어야만나갈수있는외딴섬'지옥도'에서펼쳐질솔로들의솔직하고화끈한데이팅리얼리티쇼다.지난달20일베일을벗은'솔로지옥5'는글로벌톱10비영어쇼부문2위를차지하는등인기를끌었다.특히최미나수는출연자중가장높은화제성을기록한최대수혜자로꼽혔다.그는여러남성출연자들과묘한기류를형성하는가하면,여성출연자김민지와갈등구도로긴장감을형성하며시청자들의흥미를자극했다.연애프로그램에서빠질수없는이른바'빌런'캐릭터로존재감을각인시켰다./사진=초록뱀엔터테인먼트SNS한편최미나수는2021년미스코리아선출신으로이듬해한국인최초로세계4대미인대회중하나로꼽히는'미스어스'에서1위를차지했다.'DNA러버','서초동'등여러드라마에단역으로출연하기도했다.'솔로지옥5'로깊은인상을남긴최미나수가앞으로어떤행보를보여줄지귀추가주목된다.윤성열기자[email protected]©스타뉴스&starnewskorea.com,무단전재및재배포금지

메모리생산능력격차올해소폭확대…파운드리,이르면올해4분기흑자전환전망메모리3사,300㎜웨이퍼기준D램생산량/그래픽=이지혜올해삼성전자의300㎜웨이퍼기준D램생산량은약817만5000장으로추산된다.시장조사업체옴디아는삼성전자의생산량이지난해보다48만장증가할것으로전망했다.이는SK하이닉스(639만장)의1.28배,마이크론(360만장)의2.27배에해당하는규모다.생산격차는올해더확대될것으로보인다.글로벌메모리생산량1위의배경에는지속적인시설투자가있다.삼성전자는최근5년간연평균약47조원을반도체시설투자에투입했다.삼성전자는클린룸을선제적으로건설하고향후시장수요와연계한탄력적인설비투자로안정적인생산능력을확보하는'쉘퍼스트'전략을견지중이다.'건설중인자산'이57조원에이르는이유다.경쟁사들이클린룸확보에제약받는것과달리삼성전자는이미공간을확보해단기공급확대에나설수있는구조를갖췄다.평택P4(4공장)Ph(페이즈)2·4가대표적사례다.지난해하반기부터Ph2·4의설비투자등을재개했다.올해는공간활용을위한설비투자가더늘어날것으로예상된다.특히HBM4(6세대고대역폭메모리)를위한1c(10나노급6세대)공정생산능력확보에집중중이다.신규팹공간투자도병행한다.평택P5(5공장)는최근기초공사를시작했으며2028년양산이목표다.미래기술경쟁력확보를위해천안사업장에서는하이브리드본딩설비투자도올해추진될전망이다.삼성전자는올해시설투자가전년보다상당폭늘어날것으로보고있다.대규모생산능력은삼성전자의핵심경쟁력이다.가격이급등한범용D램의생산을유지하면서수익성을확보하는동시에최선단1cD램기반의HBM4양산체계도갖췄다.HBM4는최대13Gbps속도를구현하며성능경쟁력을확보했다는평가다.엔비디아가계획중인'듀얼빈(DialBin)'전략에서도유리한고지를차지할수있다.엔비디아는차세대AI(인공지능)가속기에서동일한제품군에서성능이나스펙을두개이상의빈(등급)으로나눠공급할것으로전해진다.HBM4의경우최고속도구간(11.7Gbps이상)과차상위속도구간(10Gbps대)을동시에운영할것이란관측이제기된다.HBM4판매증가는파운드리사업부의수익회복에도큰도움을줄것으로예상된다.삼성전자는HBM4에자사파운드리사업부가생산한4나노기반의베이스다이를적용했다.HBM4양산물량이늘수록파운드리가동률도함께높아지는구조다.올해하반기가동을앞둔미국텍사스주테일러팹역시분위기가달라졌다.초기에는고객확보에어려움을겪었으나대만TSMC의생산능력이한계에다다르면서대안으로주목받고있다.삼성전자파운드리는지난해테슬라로부터23조원규모AI6칩을수주했고,퀄컴의차세대AP(애플리케이션프로세서)위탁생산도가능성도거론된다.2나노공정은1세대양산이후안정화에집중하며,올해하반기2세대공정양산을준비중이다.2세대공정은차세대모바일AP(애플리케이션)'엑시노스2700'에적용될예정이다.비메모리사업의실적개선기대도나온다.일부에서는올해4분기비메모리사업부의흑자전환가능성을전망한다.강석채삼성전자파운드리사업부부사장은최근실적발표에서"선단공정을중심으로두자릿수매출성장과실적개선을기대한다"고밝혔다.내년연간흑자가능성도거론된다.메모리사업의호조가지속되고,비메모리사업의정상화가예상되면서연간실적전망치도상향조정중이다.시장조사업체에프엔가이드에따르면삼성전자의올해연간영업이익추정치는167조5617억원으로지난해영업이익(약42조원)의약4배에달한다.다만'건설중인자산'이본격가동될경우감가상각부담이늘어날수있다.건설중인자산은사용전단계로분류돼감가상각대상에서제외되지만가동이시작되면비용이반영된다.삼성전자의감사인은건설중인자산의감가상각개시시점을핵심감사사항으로선정해감사했다.업계관계자는"생산공간을선제확보하는전략은건설중인자산증가로이어질수밖에없다"며"일부경쟁사는공간확보를위해기존공장용도변경이나외부공장인수방식을활용하고있다"고말했다.최지은기자[email protected]김남이기자[email protected]©머니투데이&mt.co.kr.무단전재및재배포,AI학습이용금지.

여수국가산업단지미국·중국등경쟁국보다40~50%높은산업용전기요금에국내제조업기반이흔들린다.최근3년사이7차례인상되며약80%급등한탓이다.이로인한기업의수익성악화와투자위축이심화하고있다.철강·정유·석유화학등24시간연속가동업종을겨냥한맞춤형요금제도입이시급하다는지적이제기된다.김소희국민의힘의원은19일“철강,석유화학같은주력업종의활로를열어주려면업종특성과현실을반영한합리적인요금체계가반드시뒷받침돼야한다”고밝혔다.2022년1분기㎾h당105.5원이던산업용전기요금은2024년4분기185.5원까지상승했다.이후1년이상동결중이다.같은기간주택·일반용요금인상률이30~40%수준이었던점을감안하면제조업현장의체감압박은훨씬크다는평가다.철강·정유·석유화학등전력집약형기간산업은24시간설비를멈출수없어요금인상분을고스란히떠안을수밖에없다.글로벌산업경쟁력차원에서도부담이크다.한국의산업용전기요금은미국(122원)보다52.0%비싸고,중국(129원)보다도43.8%높다.원가경쟁력이핵심인제조업에서이격차는단순한비용부담을넘어시장점유율과신규투자여력을잠식하는구조적요인으로작용한다.정부가계절·시간대별요금제(계시별요금제)강화를추진하고있지만전력사용을다른시간대로옮기기어려운24시간연속가동업종에는실효성이제한적이다.공정특성상설비를상시가동해야하는업종은수요분산신호를받아도선택지가많지않기때문이다.전기요금을단순히인상하는게아닌,정교한요금설계가필요하다는지적이제기되는이유다.산업계는대안으로24시간업종을위한별도요금제와인센티브도입을요구한다.업종특성을반영해기본요금구조를조정하거나,일정수준의에너지효율개선과탄소저감투자를조건으로요금부담을완화하는방식이다.토요일경부하요금제의한시적재도입과산업용전반으로의확대적용,6월과11월을봄·가을요금으로조정하는계절구분미세조정등도검토대상에오르고있다.전력자급률,송전비용,지역별수급여건을반영한지역요금제도입과전력산업기반기금부담금의한시적완화등'부담의총합'을줄이는접근이필요하다는제언도나온다.요금인상여부를둘러싼소모적논쟁을넘어,산업현장의가동리듬과비용구조를반영한정책설계로전환해야한다는것이다.김의원은“독일은올해부터산업용전기요금상한제를시행할예정이며,영국과중국도산업경쟁력보호를위해요금인하와전력판매경쟁확대를추진하고있다”며“국내기업이글로벌산업경쟁력을확보할수있도록정부차원의지원이필요하다”고말했다.이준희기자[email protected]©전자신문.무단전재및재배포금지.

지난해2조8,351억원으로역대최대매출을경신한넷마블이오는3월자사를대표하는IP'스톤에이지'와글로벌유명IP'일곱개의대죄'를활용한신작2종을연달아선보이며시장공략에나선다.스톤에이지키우기먼저2026년넷마블의포문을여는작품은3월3일전세계동시출시를확정한모바일방치형RPG'스톤에이지키우기'다.이게임은전세계2억명이상의이용자가즐겼던장수IP'스톤에이지'를현대적인감각의방치형장르로재해석한작품이다.원작의향수를간직한기존팬층과가벼운게임성을선호하는젊은이용자층을동시에공략할것으로기대되는작품이다.'스톤에이지키우기'는원작의핵심재미요소였던포획과수집시스템을모바일환경에최적화하여구현했다.이용자들은최대6명의조련사와18마리의펫을조합해24개에달하는초대규모덱을구성해나만의전략을펼칠수있다.또한모가로스,베르가,얀기로등원작인기펫들도본연의개성을유지하면서도한층귀여운모습으로등장하는것도포인트다.여기에수많은펫들이동시출전하는대규모레이드콘텐츠'강림전',서버최강자리를놓고경쟁하는'천공의탑',실시간으로상대방수확물을노리는'양식장',부족원들과힘을모아침공을막아내는'메카펫사냥'등다양한경쟁및협력콘텐츠도준비했다.일곱개의대죄오리진넷마블의또다른강력한승부수는오픈월드액션RPG'일곱개의대죄:오리진'이다.이작품은오는3월17일플레이스테이션5(PS5)와스팀(PC)버전을통해글로벌이용자들과먼저만난다.이후3월24일모바일을포함한전플랫폼정식론칭을통해크로스플랫폼환경을완성할예정이다.'일곱개의대죄:오리진'은당초올해1월출시를목표로개발되었으나,방대한오픈월드의완성도를더욱높이고콘솔및PC환경에서의조작감과UI/UX를최적화하기위해출시일정을3월로전략적으로조정하며완성도를높였다.퀄리티에집중하는넷마블의전략을살펴볼수있는작품이다.게임은언리얼엔진5를기반으로제작됐으며,원작애니메이션의감성을뛰어넘는고퀄리티그래픽을자랑한다.이용자들은아름답게완성된브리타니아대륙을자유롭게탐험하면서수영,등반등다양한상호작용을경험할수있다.여기에캐릭터를자유롭게교체하며연계기를구사하는태그플레이방식의전투시스템이게임의핵심요소로액션RPG특유의타격감과전략성을동시에제공하는것도강점이다.업계관계자는"넷마블은올해'스톤에이지키우기'를포함해연내총8종의신작출시를예고하며강력한의지를보여주고있다.넷마블이보유한강력한자체IP와외부IP활용능력이결합된이번신작들이멀티플랫폼전략과IP고도화능력을검증하는시험대가될것으로보인다."라고말했다.사용자중심의게임저널-게임동아(game.donga.com)Copyright©게임동아.무단전재및재배포금지.

테스'튜너블트리플페어노즐(TunableTriplePairNozzle)'을통한질화알루미늄(AlN)에피공정의두께균일도테스트결과.〈자료=테스〉국내반도체장비기업테스가외산장비가독점해온화합물반도체장비'에피시스템(EpiSystem)'시장에승부수를던졌다.18일업계에따르면테스는최근고구조적안정성과열방출특성이뛰어난질화알루미늄(AlN)에피공정의기술적검증을완료,'질화갈륨(GaN)에피시스템'양산준비를완료했다.화합물반도체는한가지원소(실리콘)로만이루어진일반반도체와달리두종류이상원소를섞어만든반도체를뜻한다.고온·고전압에강해전기차,통신장비에활용도가높다.주로실리콘(Si)위에탄화규소(SiC)나질화갈륨(GaN)을얇게층을쌓아만든다.저궤도(LEO)위성이나드론,군용레이더장비에는고주파(RF)모듈이들어가는데,이모듈에는열에강한화합물반도체가필수다.특히'고성능GaNRF고전자이동도트랜지스터(HEMT)'소자에는절연성과열방출이뛰어난AlN이필요하다.실리콘웨이퍼위에탄화규소나질화갈륨을쌓으면원자크기와배열간격이서로맞지않아층이뒤틀리거나금이가기쉽다.이를방지하려면질화알루미늄을중간에끼워넣어완충작용을해야하는데,이과정에서균일도를확보하는것은가스를원자단위로통제해야하는매우고난이도기술이다.특히반도체원료가되는여러가스가웨이퍼에닿기전에섞이는'믹스존(MixZone)'해결이어렵다.웨이퍼에도달하는가스의양이불균일해져반도체품질이망가진다.테스는이문제를독자적인가스제어기술'튜너블트리플페어노즐(TunableTriplePairNozzle)'을통해해결했다.수직대신수평형(Horizontal)으로노즐구조를설계해가스끼리섞이는문제를최소화했다.또한상·하로구성된노즐의독립제어를통해균일도를높였다.테스내부테스트결과,별도의레시피수정없이34회연속공정(Run)을진행했음에도불구하고동일한품질의결과물을얻어냈다.별도의레시피튜닝없이도예방정비(PreventiveMaintenance)이후동일한결과물이나와공정재현성도뛰어난것으로나타났다.테스는이미지난해자사SiC장비를통해두께균일도를8인치기준1%이하수준(THK평균0.69%)으로유지하는데성공한바있다.이는글로벌티어장비사들공식기술사양서기준(1.5%이하)과대등하거나오히려앞선수치다.테스는최근GaNRF국내외주요고객사를대상으로데모(Demo)장비공급을조율하면서동시에독일소재주요기술연구소와기술검증과정을진행하고있다.테스관계자는“화합물반도체성장장비분야에서15년동안축적해온기술력이이제본격적인결실을맺을시점”이라고말했다.이형두기자[email protected]©전자신문.무단전재및재배포금지.