넷플릭스‘굿뉴스’에적군파수장덴지역으로출연한카사마츠쇼.사진제공|넷플릭스‘케이(K)안에제이(J)있다.’최근우리영화와드라마에일본톱배우들이출연하는사례가늘고있어눈길을끈다.과거에는우리배우들이일본인캐릭터를소화하는일이흔했지만,이제는일본유명배우들이비중에상관없이이를대체하는경향을보이고있다.글로벌평단의호평을이끈변성현감독의넷플릭스영화‘굿뉴스’는일본톱배우야마다타카유키와탄탄한연기력으로인정받는카사마츠쇼의출연으로화제를모으고있다.‘굿뉴스’에서주연급인적군파의수장역을맡은카사마츠쇼는특히차기작으로연달아한국드라마를선택하기도했다.쇼는‘모범택시3’1~2회에서주인공도기(이제훈)과대립각을세우는야쿠자두목역을맡아특유의서늘한분위기로극에긴장감을불어넣었다.‘메이드인코리아’스틸컷속릴리프랭키의모습.사진제공|월트디즈니컴퍼니코리아칸영화제황금종려상을수상한고레에다히로카즈감독의‘어느가족’으로국내에도익숙한배우릴리프랭키역시연달아한국작품에출연했다.우민호감독의영화‘하얼빈’에서그는이토히로부미를연기했다.일본국민배우가일본제국주의의상징적인물을,그것도우리작품속에서연기하기는‘이례적으로’당시캐스팅소식만으로도큰화제를불러일으켰다.그는우민호감독의새작품에도나온다.24일공개되는디즈니+오리지널시리즈‘메이드인코리아’다.릴리프랭키는‘메이드인코리아’에서전설의야쿠자두목이케다오사무역을맡아남다른존재감을발휘할예정이다.‘대한민국에서건물주되는법’에출연할것으로기대를모으는일본톱스타미야비(왼쪽)와심은경.사진|미야비인스타그램케이콘텐츠를발판으로글로벌시장을정조준하는일본배우의활약상이두드러진가운데,제이(J)록의대명사이기도한미야비(Miyavi)역시이런흐름에가세한모양새다.미야비는내년상반기방영예정인tvN드라마‘대한민국에서건물주되는법’에출연을논의중인것으로알려졌다.이와맞물려그가가족과함께서울로이주한사실이전해지기도했다.‘대한민국에서건물주되는법’은임필성감독의첫드라마연출작으로심은경을비롯해하정우와임수정,정수정등이출연한다.장은지기자[email protected]©스포츠동아.무단전재및재배포금지.

[TV리포트=허장원기자]방영전부터지난해글로벌한인기를끌었던tvN'선재업고튀어'를떠올리게하는드라마가있다.바로지니TV오리지널드라마'아이돌아이'에대한이야기다.드라마'아이돌아이'는'살인용의자로몰린최애를변호하는팬'이라는파격적인소재로눈길을끌었다.'선재업고튀어'에이어팬이스타를구하는내용이눈에띈다.'선재업고튀어'에서는팬임솔(김혜윤)이정상급스타류선재(변우석)를구하기위해운명의소용돌이속으로몸을던진다.'아이돌아이'에서는최수영이김재영을구원한다.어쩌면서로를구원하는관계일지도모르겠다.해당드라마는드라마'사랑이라말해요'등을통해감각적이고섬세한연출을선보였던이광영감독과참신한필력을자랑하는김다린작가가의기투합했다.▲'아이돌아이는'…'아이돌아이'는팬심만렙의스타변호사맹세나(최수영)가살인용의자로몰린'최애'아이돌도라익(김재영)의사건을맡으며벌어지는미스터리법정로맨스다.도라익에게밴드골든보이즈는밑바닥시절을거쳐전성기까지오랜시간을함께견뎌온가족같은존재였다.그러나정신적지주역할을하던강우성(안우연)의죽음으로도라익이살인용의자로지목되며희대의사건이벌어질것을예고했다.모든의심정황이도라익에게향하고,그는깊은절망감에빠진다.이때,맹세나가도라익에게구원의손길을건넨다."맹변에게아무것도숨기고싶지않다"는그에게맹세나는"곁에있어주겠다.모든답을되찾을때까지"라고힘을실어준다.팬과스타에서무죄입증을위해진실추적을함께하는이들의인연이어떻게특별해질지주목된다.▲관전포인트는?이광영감독은"아이돌은대중의환상속에서살아가지만,동시에한명의사람일뿐"이라며"살인이라는큰사건으로인해대중의환상을파괴하는것으로부터시작되는이야기가흥미로울것"이라고했다.이어"겉으로는미스터리법정극처럼보이지만,사람을통해믿음을얻는로맨스물에가깝다"고설명했다.또그는"사건의인과와감정의흐름이동시에움직인다"며"한쪽의움직임이다른쪽의감정과선택을변화시키는구조가조금특이하다"고짚기도했다.김다린작가는관전포인트를캐릭터싱크로율로꼽았다.그는"캐릭터가현실로걸어나온느낌이었다"며"차갑고냉철한세나와뜨겁고불안한라익의온도가서로충돌해생기는긴장감을두배우가잘표현했다"고칭찬했다.김작가는"팬은아이돌의작은버릇까지속속들이알수있어도,진짜내면은닿기어렵다"며"반면아이돌은팬들이자신을얼마나사랑하는지알면서도때론두렵고도망가고싶은마음이들수도있을것같았다"는생각을드러내기도했다.▲스틸컷속느껴지는구원서사지난3일드라마'아이돌아이'측은맹세나와도라익의관계변화를담은스틸컷을공개했다.백전백승의승소율을자랑하는스타변호사맹세나는의지할곳없어진도라익을향해다정한눈맞춤을시전한다.이들의과거도화제다.도라익이속한그룹'골드보이즈'의11년차덕후맹세나는아무도알아주지않던신인시절의도라익을위해텅빈객석에홀로앉아있는모습을보였다.맹세나에게도라익은팍팍한현실을버티게해준유일한빛이자구원이었기때문이다.최수영은"라익이위험에처할때마다영웅처럼나타나는세나가인상적"이라며"그를향한팬심,깊은애정과연민,이해의감정등을표현하기위해눈빛에신경을썼다"고밝혔다.김재영또한"팬심을넘어선진심"을언급하며"사건을통해서로의맨얼굴을마주하고함께성장한다"고전해대중의관심을끌었다.지니TV오리지널드라마'아이돌아이'는오는22일밤10시에공개되며ENA를통해첫방송된다.해당드라마는넷플릭스에서도공개될예정이다.최수영과김재영외에도배우정재광,최희진,김현진등연기력쟁쟁한배우들이출연을확정짓고기량을마음껏펼칠예정이다.허장원기자[email protected]/사진=지니TV,ENA,채널'스튜디오지니'Copyright©TV리포트.무단전재및재배포금지

사진제공｜엔에스이엔엠[스포츠동아｜이수진기자]배우이자예술가구혜선이태국에서열린시상식에서수상의영예를안았다.구혜선은16일태국방콕에서개최된‘2025태국올해의헤드라인인물시상식’에서‘아시아를빛낸예술가상’을수상했다.해당시상식은매년다양한분야에서영향력있는인물들을선정해태국을비롯해한국,중국등아시아전역의주요인사들과함께기리는행사다.시상식측은구혜선에대해“예술적다재다능함을널리인정받고있는현시대의아티스트”라며“다방면의재능과지속적인영향력으로아시아문화교류의핵심인물로자리매김했다”고선정이유를밝혔다.구혜선은방콕BITEC라이브에서열린시상식에직접참석해현지언론과관객들의큰관심을받았다.독보적인존재감으로현장을밝히며방콕의밤을수놓았다는후문이다.이번수상은구혜선이쌓아온예술적행보를다시한번조명하는계기가됐다.그는드라마‘꽃보다남자’,‘엔젤아이즈’,‘블러드’등작품활동을통해한류스타로자리매김했으며,이후영화연출과뉴에이지음악작곡,회화작업까지영역을확장해왔다.장르에얽매이지않고자신만의예술세계를구축해온점이꾸준히평가받고있다.최근에는납작형헤어롤‘쿠롤’을론칭하며벤처기업가로서의행보도시작했다.예술가에서창업가까지영역을넓힌구혜선은새로운도전을이어가고있다.문화와예술,그리고새로운산업까지넘나들며자신만의길을그려가고있는구혜선의다음행보에관심이모인다.이수진기자[email protected]©스포츠동아.무단전재및재배포금지.

샤이니키가23일서울영등포구페어몬트앰버서더에서진행된세번째미니앨범‘플레저숍(PleasureShop)’발매기념기자간담회에서취재진을향해포즈를취하고있다.이번앨범은일렉트로하우스장르의타이틀곡‘플레저숍(PleasureShop)’을포함해키의다양한매력을담은6곡을수록하고있다.2024.9.23.박진업기자[email protected][스포츠서울|김미영기자]그룹샤이니출신가수키가박나래의‘주사이모’로부터불법의료시술을받은적이있다고인정한가운데그의이름을건웹예능도폐지됐다.18일유튜브채널‘뜬뜬’에따르면제작진들은“‘옷장털이범리부트’는이후업로드를중단한다”라고게시글을올렸다.제작진측은“출연자의입장과관련상황을종합적으로고려한결과,해당콘텐츠의제작을마무리하기로결정했다”며“그간콘텐츠를아껴주시고지켜봐주신구독자여러분께진심으로감사드리며,갑작스러운소식에대해너른양해를부탁드린다”고밝혔다.‘옷장털이범리부트’는패션을주제로한토크예능이다.지난달21일1화를시작으로2주에한번금요일오후7시에공개됐다.현재까지지난5일2화가공개됐다.‘옷장털이범리부트’공지.사진|유튜브채널‘뜬뜬’키는방송인박나래의불법의료시술의혹과연루된‘주사이모’A씨와의사진이온라인상에서떠돌며각종의혹에휩싸이게됐다.이에키는소속사를통해“지인의추천을받아A씨가근무하는병원에방문,그를의사로처음알게됐다”며“최근병원방문이어려운상황인경우집에서몇차례진료를받은적이있다”고불법의료시술정황을인정하고자신의소셜미디어(SNS)를통해반성의메시지를전하기도했다.아울러tvN‘놀라운토요일’,MBC‘나혼자산다’에서하차하며출연예정이었던‘MBC방송연예대상’MC에서도물러났다[email protected]©스포츠서울.무단전재및재배포금지.

채널S'니돈내산독박투어4'20일방송채널S,SK브로드밴드(서울=뉴스1)장아름기자='니돈내산독박투어4'에서'다둥이아빠'김대희홍인규가'새신랑'김준호를위해입던속옷을선물하겠다고나선다.오는20일방송되는채널S'니돈내산독박투어4'30회에서는베트남닌빈으로떠난'독박즈'가'배산임수'지형으로역대급자연경관을자랑하는둘째날숙소에입성하는모습이그려진다.채널S,SK브로드밴드채널S,SK브로드밴드채널S,SK브로드밴드앞서닌빈의명소'짱안'에서전통배투어를마친'독박즈'는장동민이예약한2일차숙소로향한다.이동하는차안에서장동민은"오늘가는숙소는프리미엄호텔"이라고호기롭게외치고,홍인규는"이름에'프리미엄'이붙은걸보니좋은곳같네"라며기대한다.장동민은"맞다"며"'새신랑'준호형의정기를확실히충전해줄수있는곳"이라고강조한다.이어장동민은"예로부터'배산임수'지형에가면정기를많이받을수있다고하는데,이곳이그렇다"고설명한다.2세를계획하고있는김준호는'급'화색이돌고,'정기'얘기가나오자'다둥이아빠'김대희도"나랑인규의정기도받아가,우리가입던속옷줄게"라고장난을친다.김준호는"애국자들의정기?혹시X묻어있는거아냐?"라고의심해모두를폭소케한다.숙소에도착한이들은아름다운절경에럭셔리한분위기에"와!진짜프리미엄이네""다른세상에온것같다"며찬사를쏟아낸다.직후로비에서체크인에돌입하는데"모두여권을맡겨달라"는직원의요청에홍인규는갑자기사색이된다.그는"어떡하냐"며"여권이없다,전날숙소에체크인하면서맡긴걸두고온것같다"고어쩔줄몰라한다.장동민은"아까아침에준호형이(호텔직원에게)뭐돌려받는것같던데?"라며김준호를바라보지만,김준호는"난내것만챙겼지"라고답해홍인규를절망케한다.여권이없으면투숙이불가한상황에서홍인규가이난관을어떻게헤쳐나갈지주목된다.'니돈내산독박투어4'는이날오후9시방송된다[email protected]©뉴스1.Allrightsreserved.무단전재및재배포,AI학습이용금지.

고지병수씨,지난10월별세(MHN정에스더기자)가수손담비가'할담비'고(故)지병수씨를추모했다.18일손담비는자신의SNS에"할아버지편히쉬세요.제노래를사랑해주셔서감사합니다"라는글로고인의사망을애도했다.고지병수씨가지난10월향년82세로별세한소식이최근알려졌다.고인은2019년KBS1TV'전국노래자랑'무대에서손담비의노래'미쳤어'를열창하며춤을춰인기상을수상했고,이후'할담비'라는별명을얻으며화제를모았다.KBS2TV'연예가중계'에서손담비와직접만남이성사되기도했으며,tvN'유퀴즈온더블럭'등여러방송프로그램에도출연했다.사진=블리츠웨이엔터테인먼트,손담비SNSCopyright©MHN.무단전재및재배포금지.

‘경도를기다리며’원지안,첫사랑의아이콘(제공:JTBC)원지안이‘경도를기다리며’를통해새로운첫사랑의아이콘으로떠오르고있다.매주토,일요일방송되는JTBC토일드라마‘경도를기다리며’에서원지안은여린속마음을감추기위해강인한척하는서지우캐릭터의반전을드러내며시청자들의마음을사로잡고있다.극중서지우는자림어패럴의둘째딸로남부럽지않은가정환경을가졌지만혼외자라는비밀을간직한인물.엄마장현경(남기애분)의냉혹한시선으로인해어릴때부터늘외롭게자라왔던서지우는우연히친구의학교에놀러갔다마주친이경도(박서준분)와지독하게엮이며그에게서사랑이주는다양한감정을배워갔다.외로운삶에온기를가져다준유일한사람인만큼서지우는이경도의말한마디,한마디에속절없이흔들렸다.자림어패럴회장의딸이라는걸우연히들키게된이후이경도에게속여서미안하다며눈물을흘리고,사랑하기에모든걸주고싶었던자신의방식이오히려상처가되자이를후회하는등수많은감정이서지우의마음에소용돌이를일으켰다.뿐만아니라시간이많이흘러재회한후에도서지우는여전히이경도의존재로인해위로를받아뭉클함을더했다.인류애라는핑계로더이상술을먹지못하게막아주고엄마처럼살뜰히자신을보살펴주는이경도를보며서지우는두사람이행복했던과거로돌아가고싶다는생각에사로잡혔다.때문에서지우는공항에서자신을붙잡아주고전남편의횡포에서지켜주는이경도의손길에다시금떨림을느끼고있었다.그러나오래도록외롭게자랐던만큼사랑을표현하는게서툴렀던서지우는이경도에게“관심끄고살아”라며톡쏘는말투로그를밀어내기바빴다.이경도가자신과헤어진뒤어떤삶을보냈는지알고있기에선을그으려던것.그러나뾰족한말과달리이경도만보면다시마음이말랑말랑해지는서지우의감정변화는안타까움을안겼다.이처럼마음속에불어닥친감정의폭풍에흔들리는서지우캐릭터의면면들은배우원지안의열연으로한층몰입감있게그려지고있다.설렘과슬픔,그리움과좌절등사랑으로인해겪을수있는희로애락들을표현하며보는이들의공감을불러일으켰다.무엇보다지난4회말미,이경도가서지우와의관계를묻는질문에“플러팅중입니다”라는뜻밖의대답을하면서두사람사이또한번의관계변화가예고된상황.과연서지우는이경도를향한감정을정리할수있을지,원지안이완성할서지우의이야기가더욱기다려지고있다.어디로튈지모르는사랑스러운원지안을만날수있는JTBC토일드라마‘경도를기다리며’는오는20일(토)밤10시40분에5회가방송된다.한효주기자bnt뉴스연예팀기사제보[email protected]©bnt뉴스.무단전재,재배포및AI데이터활용금지

[Dispatch=정태윤기자]유니스가데뷔첫미주투어에나선다.F&F엔터테인먼트측은18일"유니스가다음달'2026유니스첫번째투어:에버라스트'(EverLast)를연다"고밝혔다.'에버라스트'는언제나(Ever),영원히지속되다(Last)라는의미를담은타이틀이다.팬덤명에버애프터를변주한위드플레이와팀명을활용했다.멤버들과팬들이함께써내려가는이야기가오래도록이어지길바라는마음을담았다.유니스는다음달28일(현지시간)뉴욕에서미주투어를시작한다.이후필라델피아,워싱턴D.C.,샬럿,애틀랜타,잭슨빌,클리블랜드,시카고,댈러스,부에노스아이레스,산티아고,멕시코시티,로스앤젤레스등13개도시를순회한다.이외추가되는도시와일정은추후공개될예정이다.유니스는최근'2025팬콘아시아투어'를성공적으로마무리했다.한국,일본,필리핀등의글로벌팬들을만났다.이번엔북미와중남미로활동반경을넓혀활약을이어간다.유니스는투어외에도꾸준한음악활동으로존재감을드러내고있다.올해2번째미니앨범'스위시'(SWICY)를발표하고,데뷔첫일본오리지널곡'모시모시'로현지팬들과호흡했다.지난17일에는일본2번째디지털싱글'므와'를발매했다.멤버들은오는30일현지에서발매기념이벤트를연다.31일에는'모모이로가합전'에출연해올해의마지막을팬들과함께할예정이다.<사진제공=F&F엔터테인먼트>Copyright©디스패치.무단전재및재배포금지.

KBS2‘러브:트랙-늑대가사라진밤에’공민정.사진|KBS2[스포츠서울|서지현기자]배우공민정이깊은연기내공으로안방극장에진한공감을안겼다.공민정은지난17일방송된2025KBS2단막프로젝트‘러브:트랙–늑대가사라진밤에’에서사육사출신의애니멀커뮤니케이터유달래역으로열연하며이혼위기부부의현실적인고민과감정들을섬세한연기로그려냈다.이날달래는늑대순정이가사라졌다는남편대강(임성재분)의연락을받고동물원으로달려갔다.대강과이혼을앞둔달래는또다시사고를친대강에화가나돌아가려하지만사육사로어린시절부터돌봤던순정이눈에밟혀함께사라진순정이찾기에나섰다.달래는이과정속에서남편에대해미처몰랐던사실들을알게되며날카로웠던감정이누그러졌다.그러나달래는딸이아프다는연락에도순정을잃어버린것을들키지않는데급급한대강에화가났고,갈등이극에치달은달래는결국순정찾기를포기하고돌아섰다.이때달래의앞에순정이등장,달래는순정이새끼를배었다는사실을알게됐다.두사람은순정의임신으로자신들의행동을반성했다.이어두사람은이혼의이유를각자에게서찾던두사람은이별이누구하나의잘못으로인해벌어지는것이아니라는것을깨달으며서로를이해하게됐다.공민정은단막극의빠른호흡을밀도높은연기로빈틈없이채우며대체불가존재감을뽐냈다.캐릭터에완벽하게융화된열연으로극을안정적으로이끌어나간공민정은다년간쌓아온연기내공을십분발휘,단숨에시청자들을작품에몰입시키며극의재미를극대화했다.특히공민정표생활밀착형연기가이번작품을통해제대로빛을발하며보는이의공감대를자극했다.부부사이에서벌어지는오해와이해를현실감있게그려낸공민정의열연이시청자들에제대로통한것.공민정은자연스러운톤과표정,눈빛과호흡등으로자신만의유달래캐릭터를완성,시청자들에깊은인상을남겼다.단막극을통해다시한번시청자들에‘믿고보는배우’를증명한공민정은“이번작품은친한친구와함께해더욱의미있는작업이었고,모든스태프와배우들이한마음으로애정담아만든작품이었다”라며“오랜만에단편작업을해너무재밌었고,짧지만강한여운이오래남을작품이라는생각이든다.많은사랑부탁드린다.감사하다”고소감을전했다[email protected]©스포츠서울.무단전재및재배포금지.

‘아바타:불과재’사진|월트디즈니컴퍼니코리아‘아바타:불과재’가개봉과동시에1위에올랐다.18일영화진흥위원회영화관입장권통합전산망에따르면전날‘아바타:불과재’(감독제임스카메론)이26만5055명의관객을동원해박스오피스1위에올랐다.누적관객수는26만6435명이다.‘아바타:불과재’는아바타시리즈의세번째이야기를그린다.제이크와네이티리의첫째아들네테이얌의죽음이후슬픔에빠진설리가족앞에바랑이이끄는재의부족이등장하며불과재로뒤덮인판도라에서펼쳐지는더욱거대한위기를담았다.특히개봉이후에도예매량60만장을돌파,가볍게100만돌파를예고해향후흥행성적에관심이쏠린다.2위는‘주토피아2’(감독재러드부시,바이론하워드)다.8만5606명을모아누적관객수563만1269명을기록중이다.지난달26일개봉한‘주토피아2’는‘주토피아’이후9년만에선보인속편.다시돌아온‘주토피아’최고의콤비주디와닉이도시를뒤흔든정체불명의뱀게리를쫓아,새로운세계로뛰어들며위험천만한사건을수사하는짜릿한추적어드벤처다.3위는‘윗집사람들’(감독하정우)이차지했다.9154명이찾아누적관객수45만5155명을기록했다.‘윗집사람들’은매일밤섹다른층간소음으로인해윗집부부(하정우,이하늬)와아랫집부부(공효진,김동욱)가함께하룻밤식사를하게되면서벌어지는예측불허이야기를그린다.현재오전9시20분기준,실시간예매율1위는‘아바타:불과재’(71.1%)다.뒤로‘주토피아2’(13.9%)‘오늘밤,세계에서이사랑이사라진다해도’(3.%)순이다.[양소영스타투데이기자]Copyright©스타투데이.무단전재,재배포및AI학습이용금지

사진=IS포토,하이업엔터테인먼트.그룹에이핑크윤보미와프로듀서팀블랙아이드필승의라도(본명송주영·41)가긴연애의종지부를찍고부부로서결실을맺는다.18일윤보미의소속사위드어스엔터테인먼트는“윤보미가오랜시간곁을지켜온소중한인연과내년5월결혼한다”며“인생의새로운막을여는두사람의앞날에따뜻한응원을부탁드린다”고밝혔다.이어“결혼이후에도에이핑크멤버이자배우,예능인으로서활동을꾸준히이어갈예정”이라며“팬들에게보답할수있도록더욱성숙하고책임감있는모습으로찾아뵙겠다”고전했다.윤보미역시공식팬미팅을통해자필손편지를공개하며직접심경을전했다.그는“이글을어떻게시작해야할지지금도조심스럽다”며“10대와20대를지나어느덧33살이된지금,오랜시간일상을나누며기쁠때도흔들릴때도함께해온사람과앞으로의삶을함께하기로결정했다”고밝혔다.갑작스러운소식에놀랐을팬들을향한진심도전했다.윤보미는“15년이라는긴시간동안언제나곁을지켜준판다(팬덤명)들의마음과무대위의저를함께만들어준순간들을결코당연하게여기지않겠다”며“이자리를빌려다시한번진심으로감사드린다”고말했다.그러면서“앞으로도제자리에서책임감을잃지않고,더좋은활동으로보답하겠다”고덧붙였다.두사람은2017년음악작업을하다연인으로발전했다.지난해4월교제사실을인정했으며,스타작곡가와가수커플로대중의많은사랑을받았다.특히내년에이핑크데뷔15주년을앞두고전해진윤보미의결혼소식에팬들은“겹경사”라며축하해주는분위기다.윤보미는2011년에이핑크멤버로데뷔해‘미스터츄’,‘노노노’,‘리멤버’등수많은히트곡을남겼다.15주년을맞아내년1월15일에는열한번째미니앨범‘리:러브’를발매한다.라도는걸그룹스테이씨가속해있는하이업엔터테인먼트총괄프로듀서로활동중이다.그는트와이스‘TT’,청하‘벌써12시’,에이핑크‘1도없어’,스테이씨‘ASAP’등을히트시켰다.김지혜기자[email protected]©일간스포츠.무단전재및재배포금지.

400℃고온에도안정한루테늄배선원료물질개발고온ALD공정으로배선품질·공정속도모두잡아개발된루테늄전구체(원료물질)를이용한ALD박막증착공정실험결과.연구그림=UNIST[서울경제]반도체회로선폭이줄어들면서발생하는이른바‘전기동맥경화’현상을해결할물질이개발됐다.울산과학기술원(UNIST)반도체소재부품대학원김수현교수팀은차세대반도체배선소재인루테늄의새로운원료물질(전구체)과이를적용한원자층증착공정(atomiclayerdeposition,ALD)을개발했다고18일밝혔다.금속배선은반도체칩내부의수억개트랜지스터에전력을공급하고신호를전달하는핵심구조이다.공정미세화가진행되면서배선폭이점점줄어들고있는데,상용구리배선은선폭이감소할수록박막의전기저항이급격히증가해전류가잘흐르지못하고칩성능저하로이어지는문제가있다.반면루테늄은선폭이줄어들어도저항증가가상대적으로완만해차세대배선소재로주목받고있다.또한구리와달리별도의확산방지층이필요하지않아구조를더욱간단하게만들수있다는장점도있다.연구팀이개발한원료물질은400℃에서도분해되지않아고품질의루테늄배선을깔수있다.루테늄배선은원료물질을먼저기판에흡착시킨뒤,반응가스를주입해원료물질의루테늄금속부분만남기고나머지부분을제거하는ALD방식으로이뤄진다.배선의품질은공정온도가높아질수록뛰어나지만,기존루테늄원료물질은높은공정온도를견디지못하고분해돼버리는문제가있었다.이원료물질로증착된루테늄박막은열처리없이도이상적인저항률(벌크7.4μΩ·cm)에거의근접한10.6마이크로옴(μΩ·cm)의낮은저항률을기록했다.단차피복성도95%이상을기록했다.이는3D낸드(NAND)와같이좁고깊은반도체구조에박막을균일하게입힐수있다는것을의미한다.이번연구에사용된원료물질은반도체공정비용과시간도줄일수있다.배선이필요한곳에만선택적으로루테늄이증착되고,전기가통하면안되는절연체위에는달라붙지않는특성이있기때문이다.절연체위에달라붙은배선은별도의식각공정을통해제거해야만했다.또1회공정에0.13나노미터(nm,1.28Å)두께의루테늄박막을만들었는데,이는기존보다약2배빨라진속도다.김수현교수는“반도체소자의고집적화로배선공정의난이도가기하급수적으로높아지는상황에서,미세선폭의저항감소와3D구조의증착균일성,빠른증착속도를동시에확보했다는데의미가있다”라며“차세대로직및메모리반도체양산공정의수율과성능경쟁력을높이는데기여할것”이라고말했다.차세대반도체배선소재인루테늄의새로운원료물질(전구체)과이를적용한원자층증착공정을개발한연구진.(왼쪽부터)김수현교수,히데아키나카쓰보연구원(제1저자),데바난다모하파트라교수,김정하연구원.사진제공=UNIST이번연구는UNIST와일본의귀금속소재회사인다나까귀금속(TANAKAPRECIOUSMETALTECHNOLOGIESCo.,Ltd.)간의국제공동연구를통해얻어졌으며,연구결과는저명한국제학술지‘어드밴스드사이언스(AdvancedScience)’에11월23일온라인게재됐다.연구는산업통상자원부(MOTIE)기술혁신사업의지원으로진행됐다.울산=장지승기자[email protected]©서울경제.무단전재및재배포금지.