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[IT뉴스][과기원NOW] KAIST, ‘탄소나노튜브 나노 사포’로 반도체급 초정밀 연마 길 열어 外

온카뱅크관리자

2026-02-11 18:27:31

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        <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> 
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          <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="1ed1670333f7c71fb35b6f37dc3e4c7e0327125c19f16c81a1f6ac33cb51c502" dmcf-pid="Y31mWcSrJY" dmcf-ptype="figure">
           <p class="link_figure"><img alt="왼쪽부터 KAIST 강석경 박사, 김산하 교수. KAIST 제공." class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202602/11/dongascience/20260211182144559tfok.jpg" data-org-width="680" dmcf-mid="yCsdcPaeeH" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202602/11/dongascience/20260211182144559tfok.jpg" width="658"></p>
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            왼쪽부터 KAIST 강석경 박사, 김산하 교수. KAIST 제공.
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          <p contents-hash="aa386998dd3d41762a7631695b60840e40eaa4334f487eede7356ed6db401a57" dmcf-pid="G6f5qWUZJW" dmcf-ptype="general">■ KAIST는 김산하 기계공학과 교수팀이 탄소나노튜브를 연마재로 활용한 '나노 사포'를 개발했다고 11일 밝혔다. 연구결과는 지난 1월 8일 국제학술지 '어드밴스드 컴포짓 앤 하이브리드 머티리얼즈'에 공개됐다. 사포는 표면을 문질러 매끄럽게 만드는 도구지만 반도체처럼 극도로 정밀한 가공이 필요한 분야에는 적용이 어려웠다. 연구팀은 탄소나노튜브를 수직 정렬해 폴리우레탄 내부에 고정하는 방식으로 기존 상용 사포보다 연마재 밀도가 약 50만 배 높은 나노 사포를 구현했다. 반도체 패턴 평탄화 실험에서는 기존 공정 대비 디싱 결함을 최대 67%까지 줄였다. 이 연구는 제31회 삼성휴먼테크논문대상 기계공학 분과 금상을 수상했다.</p>
          <p contents-hash="2ed5cba885487e922fc73ca8dd0aeffc97d50e4ce6198819fc4b887f913f2a25" dmcf-pid="HP41BYu5Ry" dmcf-ptype="general">■ 울산과학기술원(UNIST)은 윤희인 전기전자공학과 교수팀이 잡음을 획기적으로 줄인 반도체 클록 신호 생성 회로를 개발했다고 11일 밝혔다. 연구결과는 지난 6일 국제학술지 '저널 오브 솔리드 스테이트 서킷'에 공개됐다. 반도체 칩은 '클록'이라는 주기적 전기 신호에 맞춰 데이터를 처리하는데 5G·6G 통신칩이나 AI칩처럼 방대한 데이터를 빠르게 처리해야 하는 환경에서는 클록 신호의 품질이 성능과 직결된다. 연구팀은 주파수 추적(SSFTL)과 주입 타이밍 보정(IPTC) 기술을 적용해 '참조 스퍼'라는 잡음을 세계 최저 수준인 -81.36데시벨시(dBc, 반송파 기준 데시벨)까지 낮췄다. 회로 면적은 0.0444mm², 전력 소모는 12.28밀리와트(mW, 1000분의 1와트)로 모바일 기기나 사물인터넷(IoT) 센서에 적용 가능하다.</p>
          <p contents-hash="660052767dc12bffc4356c6ea11d1c2c8fc5ffe54a9c2512c287a2c1678403a6" dmcf-pid="XQ8tbG71RT" dmcf-ptype="general">■ 광주과학기술원(GIST)은 고씨 광주전남종문회·장학재단이 지난 10일 총장실에서 장학기금 5025만 원을 기탁했다고 11일 밝혔다. 고씨 광주전남장학재단 고윤근 이사장은 2017년 2000만 원을 시작으로 기부 연도에 맞춘 금액을 기탁해왔으며 이번 기부를 포함한 누적 기부액은 1억 4000만 원을 넘어섰다. 고씨 광주전남종문회 고홍천 회장도 이번 기부 취지에 공감해 함께 참여했다.</p>
          <p contents-hash="e539407a1a39dd68a286b1440861993b7686ac54dcb9ff79859d6ed82f1a199b" dmcf-pid="Zx6FKHztdv" dmcf-ptype="general">■ 광주과학기술원(GIST)은 GIST RISE 사업단이 운영한 참여형 프로그램 '도전, 에너지 골든벨!'이 지난 5~6일 열린 '2025 광주 RISE 성과공유회'에서 성황리에 개최됐다고 11일 밝혔다. 이 행사는 지난해 9월부터 6개월간 진행된 '어린이-청소년 에너지 리터러시&amp;메이커톤 프로그램'의 성과를 시민과 공유하는 자리로 초등학생부터 성인까지 참여했다. 대상은 빛누리초 1학년 양지호 군과 어머니 이혜연 씨가 수상했다. GIST RISE 사업단은 차년도 운영 방향으로 '과학과 문화의 접목'을 제시하며 시민 참여형 교육 프로그램을 확대할 예정이다.</p>
          <p contents-hash="b0ed79d98e44c11bde98a36671e69c1094d2bed541d24475449ab46489c4106b" dmcf-pid="5MP39XqFdS" dmcf-ptype="general">■ 대구경북과학기술원(DGIST)은 지난 10일 네덜란드 반도체 기술혁신 사절단이 대학을 방문해 반도체 및 센서 분야의 글로벌 교육·연구 협력 방안을 논의했다고 11일 밝혔다. 이번 방문에는 주한 네덜란드 대사관 피터 베일하우전 혁신기술과학 담당관을 비롯해 트벤테 대학, 델프트 공과대학 교수진과 첨단 반도체 재료 리소그래피(ASML) 핵심 파트너사인 프로드라이브 테크놀로지스 등 산·학·연·관 주요 인사 25명이 참석했다. 양측은 차세대 반도체 및 센서 기술 공동 연구, 글로벌 인재 양성을 위한 교육 프로그램 교류 등을 핵심 의제로 논의하고 '산·학·관 3자 글로벌 파트너십'으로 발전시키기로 합의했다.</p>
          <p contents-hash="b87f2106a0ee844e4f5d9cb19716483bdb141f2b85c7dc63da92ee4e0577613b" dmcf-pid="1RQ02ZB3el" dmcf-ptype="general">[임정우 기자 jjwl@donga.com]</p>
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        <p class="" data-translation="true">Copyright © 동아사이언스. 무단전재 및 재배포 금지.</p>

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