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[IT뉴스]그래핀스퀘어, 차세대반도체용 EUV 공정 핵심 ‘펠리클’에 그래핀 적용

온카뱅크관리자

2025-12-09 09:07:30

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        <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> 
         <section dmcf-sid="x5QbGcoMOv">
          <p contents-hash="a3614ab2e8d21decd7f7f0fa4e582b3007b7d0f45c4f084d3e80f92136117d19" dmcf-pid="ynTreutWOS" dmcf-ptype="general"> [이데일리 이윤정 기자] 국내 토종 벤처기업인 그래핀스퀘어와 단국대학교 신소재공학과 우윤성 교수 및 포스텍 공동연구팀이 차세대반도체 극자외선(EUV) 공정 핵심부품인 펠리클에 그래핀을 적용, 세계적인 학술지인 ‘어드밴스드 펑셔널 머티리얼스(Advanced Functional Materials)’에 성능 개선에 대한 확인 결과를 온라인 공개했다.</p>
          <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="12bbf080f76336be80752604648796ed0107ab26b1604513c815c64006d1c410" dmcf-pid="WLymd7FYwl" dmcf-ptype="figure">
           <p class="link_figure"><img class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202512/09/Edaily/20251209090649451ornk.jpg" data-org-width="454" dmcf-mid="QdZlg971DT" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202512/09/Edaily/20251209090649451ornk.jpg" width="658"></p>
          </figure>
          <div contents-hash="b95a0954a116e2cf6bd24bb7f904bf817ef98840eb80ccb7d9a9d89d3c352d39" dmcf-pid="YoWsJz3Gwh" dmcf-ptype="general">
           EUV 펠리클은 포토 공정에서 장당 수억 원에 이르는 포토마스크를 오염원으로부터 보호하는 투명하고 얇은 덮개로 EUV 장비가 마스크의 회로 패턴을 웨이퍼에 프린팅할 때 수율을 높이기 위해 필수적이다. 하지만, 90% 이상의 고투과도와 기계적, 열적, 화학적 안정성을 동시에 필요로 하는 극도의 난이도로 인해 아직 본격적인 EUV펠리클 상용화는 이루어지지 못하고 있으며, 최근에는 2나노 이하 공정을 구현하기 위해 더 큰 렌즈 구경(High-NA)의 고출력 EUV 기술이 채택되면서 펠리클의 요구 성능이 더 높아지고 있다. 
          </div>
          <p contents-hash="9c241735598cb6725b28a8c7d4fd05d5c974a4587001bed6ad8abf38ca1e76e9" dmcf-pid="GCz5mR8BrC" dmcf-ptype="general">그래핀은 실리콘의 100배에 이르는 전자이동도뿐 아니라 이론적으로 강철의 200배에 달하는 기계적 강도와 구리의 10배에 달하는 열전도도, 높은 투과도 및 화학적 안정성으로 인해 EUV 펠리클에 적합한 소재로 주목받아 왔다. 공동연구팀은 이러한 그래핀을 원자층 단위로 10장까지 웨이퍼 위에 전사하는 독점적인 기술을 바탕으로 최대 94.4%의 투과도 및 기존소재(SiN) 대비 8배의 파괴하중 등 그래핀 펠리클의 성능을 증명하고 상용화에 필요한 스케일업 가능성까지 확인했다. </p>
          <p contents-hash="dfe62747c20b12d3c4fff273c5fee2326c79320c2a7c9ae57447a2f9d16d1413" dmcf-pid="Hhq1se6bOI" dmcf-ptype="general">그래핀스퀘어 연구팀은 2026년 안에 96% 이상의 투과도를 달성하고 고객사와 신뢰성 검증에 착수하여 2027년부터 실제 EUV 양산공정에 적용할 계획이다. </p>
          <p contents-hash="0258cad4b23ded3934ef388e48e74e891a77da53ecfb9b3aed99035736535a07" dmcf-pid="XlBtOdPKmO" dmcf-ptype="general">공동연구팀을 이끈 우윤성 단국대 교수(전 삼성종합기술원)는 “꿈의 신소재라 불리는 그래핀의 놀라운 특성들이 복합적으로 적용된 EUV펠리클이 상용화된다면 반도체 초미세공정의 글로벌 우위를 점할 수 있을 것”이라고 말했다.</p>
          <p contents-hash="01dcf7946ece0cb8837bd450ed1d5de26112c1a7c445c8b256c927d2776e9f3c" dmcf-pid="ZSbFIJQ9Ds" dmcf-ptype="general">홍병희 그래핀스퀘어 대표는 “앞으로 그래핀의 놀라운 특성들은 반도체분야 뿐 아니라 가전, 모빌리티, 에너지, 바이오 등 우리나라 주력산업 분야에 적용돼 글로벌 경쟁력을 강화시킬 것”이라며 “중국, 유럽연합 등과의 그래핀 기술개발 경쟁이 치열해지는 가운데, 앞으로 2~3년이 그래핀 시장 선점을 위한 골든타임이 될 것”이라고 전했다.</p>
          <p contents-hash="f87c0f8d0e2b0c359d628aa3a4caa8d50fd28d845b5c9dfcf25294a930931d9e" dmcf-pid="5vK3Cix2sm" dmcf-ptype="general">한편, 서울대 화학부 교수이자 차세대융합기술원 그래핀연구센터장인 홍병희 대표이사가 2012년 창업한 그래핀스퀘어(주)는 화학기상증착법(CVD)을 이용한 대면적 그래핀의 상용화 분야를 선도하고 있는 토종 벤처기업이다. 지난 2021년 본격적인 제조생산을 위해 포항으로 본사를 옮긴 후 지난 11월 18일에는 세계최초 CVD그래핀 양산공장을 준공했다.</p>
          <p contents-hash="161ccb638092d0aebe2cecbee34e84bf285b92c555112c5c246aec6c420babb8" dmcf-pid="1T90hnMVrr" dmcf-ptype="general">이윤정 (yunj725@edaily.co.kr) </p>
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        </div> 
        <p class="" data-translation="true">Copyright © 이데일리. 무단전재 및 재배포 금지.</p>

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